Volframi aurustuspaat ja boornitriidi aurustuspaat

Erinevateks rakendusteks mõeldud õhukeste kilede valmistamisel mängib protsessis olulist rolli aurustuspaatide valik. Kaks tavaliselt kasutatavat paati on volfram- ja boornitriidpaadid. Selles artiklis uurime erinevusi volframi aurustuspaatide jaboornitriidi aurustuspaadidja nende vastavad eelised.

Volframi aurustuspaadid on valmistatud volframmetallist. Need on tuntud oma kõrge sulamistemperatuuri poolest, mis muudab need ideaalseks kasutamiseks kõrge temperatuuriga vaakumrakendustes. Volfram on ka väga vastupidav termilisele šokile, mis tähendab, et see talub kiireid temperatuurimuutusi ilma pragunemise või purunemiseta. Lisaks on volframpaatidel madal soojuspaisumistegur, mis tähendab, et need ei deformeeru ega deformeeru kütte- ja jahutustsüklite ajal. Need omadused muudavad volframpaadid ideaalseks kasutamiseks metallide, sulamite ja keraamika valmistamisel.

Teisest küljest on boornitriidi aurustuspaadid valmistatud täiustatud keraamilistest materjalidest. Boornitriid on suure jõudlusega keraamika, millel on suurepärane soojusjuhtivus, kõrge temperatuuri stabiilsus ja keemiline inertsus. Sellel on väga madal soojuspaisumistegur, mis tähendab, et see ei deformeeru kütte- ja jahutustsüklite ajal. Boornitriidpaadid sobivad ideaalselt kasutamiseks metallide, sulamite ja muude reaktiivsete materjalide valmistamiseks, mis nõuavad keemiliselt inertset keskkonda.

Võrreldes volframpaatidega pakuvad boornitriidpaadid mitmeid eeliseid. Esiteks on boornitriidpaadid keemiliselt inertsed, mis tähendab, et nad ei reageeri aurustatavate materjalidega. See on eriti oluline reaktiivsete metallide või sulamitega töötamisel, kuna paadid ei saasta õhukesi kilesid. Lisaks pakuvad boornitriidpaadid erakordset soojuslöögikindlust, mis muudab need ideaalseks kasutamiseks kõrge temperatuuriga vaakumprotsessides.

Kokkuvõtteks võib öelda, et nii volframi- kui ka boornitriidi aurustuspaadid on kasulikud õhukese kile valmistamiseks. Valik sõltub suuresti konkreetsest rakendusest ja aurustatavast materjalist. Volframpaadid sobivad ideaalselt kõrge temperatuuriga vaakumprotsesside ja materjalide jaoks, mis nõuavad kõrget soojuslöögikindlust. Boornitriidpaadid seevastu pakuvad suurepärast keemilist vastupidavust ja vastupidavust termilisele šokile, mistõttu on need ideaalsed reaktiivsete materjalidega kasutamiseks.