Aurustuspaadid paistavad silma vaakumkatel ahjudes

Aurustuspaat on tolmuahi materjali aurustumise katte põhikomponentide saavutamiseks, selle ülesanne on kanda materjalide aurustumist ja muuta see kuumutamise teel aurustuseks, ladestub vaakumkeskkonnas õhukese kile moodustamiseks. Järgmised rakendusmaastiku, materiaalsed omadused, tehnilised punktid ja tööstuse rakendused ning aurustumispaadi üksikasjaliku analüüsi muude aspektid vaakum -ahju rakendustes:

Põhirakenduse stseen

1. õhuke kile sadestumine ja katte valmistamise vaakum ahi aurustumise paadi kuumutamisel aurustunud materjalid (metallid, sulamid, ühendid jne), nii et see on madala rõhuga keskkonnas, substraadi pinna aurustumine ja sadestumine, funktsionaalsete õhukeste kilede moodustumine, sealhulgas Cirittive \/ Itive Film: District Movie, ITry (ALET), METALLIT), CURET) (Sio₂, Sinₓ), mida kasutatakse kiibide tootmises, vooluahelates, MEMS -seadmetes. Optilised kiled: läbilaskvuse suurendamise kiled (MGF₂), peegeldavad kiled (AG, AL), filterfilmid (mitmekihilised dielektrilised kiled), mida kasutatakse optilistes läätsedes, mobiiltelefoni kaamerates, kuvarid. Funktsionaalsed katted: kulumiskindlad katted (tina, CRN), soojus isolatsioonid (metallisulamid), korrosioonikindlad kiled (PTFE), mida kasutatakse auto klaasides, lõiketööriistad, kosmosekomponendid.

2. Materjali puhastamine ja kõrge puhtusastmega materjali eraldamine: erinevate aururõhuga erinevate ainete kasutamine aurustumispaadi kuumutamise kaudu, et saavutada haruldaste muldmetallide elementide (näiteks ND, DY) puhastamine, väärismetallid (AU, PT). Pinna dopingu töötlemine: dopantide (näiteks B, n) aurustumine pooljuhtide vahvlite või akuelektroodide pinnal, et parandada materjalide elektrilisi või optilisi omadusi.

Teiseks, tehnilised punktid ja disaininõuded

1. Temperatuuri juhtimine ja aurustumispaadi ühtlus takistuskütte või elektronkiire pommitamise kuumutamisel peavad temperatuuri määrama vastavalt materjali aururõhule (näiteks Al aurustumistemperatuur umbes 1200 kraadi, Au umbes 1400 kraadi).

Paadi korpuse disain (näiteks soone sügavus, kaldenurk) tagamaks, et materjali aurustumine kuumutatakse ühtlaselt, et vältida pritsimisest või lisandite lendumisest põhjustatud kohalikku ülekuumenemist.

2. vaakumi sobiv vaakumkeskkond (tavaliselt 10- ³ ~ 10- ⁶ PA) võib vähendada materjali keemistemperatuuri, parandada aurustuskiirust, vältides samal ajal oksüdatsiooni. Aurustuspaadimaterjalid peavad olema kõrge vaakumi all stabiilsed, näiteks grafiidpaat peab vältima kõrge temperatuuri oksüdeerumist (tuleb täita inertse gaasi, näiteks AR -ga).

3. Keemiline ühilduvus materjalide aurustumise ja paadireaktsiooni vältimiseks: näiteks ei tohiks Zn aurustumine, S-sisaldavad materjalid, kasutada molübdeenipaati (hõlpsasti moodustada madala sulamistemperatuuriga MOS ₂ põhjustab korrosiooni); Nitriidi aurustumine eelistas boori nitriidipaadi, et vältida metallpaadi korpust ja N -elemendi reaktsiooni lisandite tekitamiseks.

4. Elu- ja asendamistsükkel pärast pikaajalist kasutamist võib paat olla tingitud sulasulamise erosioonist, aurustusjääkidest või deformatsiooni rikkest, regulaarsest hooldusest (näiteks ultraheli puhastamine) või asendamisest, et tagada kattekvaliteedi stabiilsus. Tüüpilised tööstuse rakendused

1. pooljuhtide ja mikroelektrooniliste kiipide tootmine: AL aurustumine, integreeritud vooluringi elektroodide valmistamine, kasutades molübdeenipaati või volframipaati; SiO₂ soojustuskihi sadestumine võib olla valikuline grafiidipaat või boori nitriidipaat (metalli saastumise vältimiseks). Toiteseadmed: boori nitriidi paadi aurustumise gan, aln kasutamine, kõrge elektronide liikuvuse transistori (HEMT) epitaksiaalse kihi ettevalmistamine, et vältida metallpaadi korpuses lisandite kehtestamist.

2. optika ja kuvaritehnoloogia täppisoptilised komponendid: volframpaadi aurustumine AG, AL peeglite ettevalmistamine, grafiitpaadi aurustumine MGF₂, SiO₂ läbilaskvuse suurendamise kile ettevalmistamine, et tagada kile ühtlus ja madal defektide määr.

OLED ja MINI-LED: Booron nitriidipaadi aurustumine orgaaniliste valgust emiteerivate materjalide (näiteks IR-kompleksi) või kvantpunktide, et vältida paadi kerematerjale ja reaktiivseid orgaanilisi molekule, et parandada seadme eluiga.

3. Uued energiavälja päikeseelemendid: molübdeen paadi aurustumise ag elektroodi läga, grafiitpaadi sadestumine patt Kalkogeniidi akus boori nitriidpaadi aurustumise formamidiini-plii jood (FAPBI₃), et vältida saastumist veeauru ja lisandite abil.

4. liitium-ioonakud: tantaalpaadi aurustumine Li metallist tahkis-akuelektroodide valmistamine, selle liitiumi korrosioonikindluse kasutamine; B, n elemendi aurustumine legenes modifitseeritud ränipõhise anoodi, et suurendada tsükli jõudlust.

5. tipptasemel seadmed ja kosmose tööriistakate: volframpaadi aurustumine Ti, CR ettevalmistamine tina, CRN kõva kattekiht, parandage tööriistade kulumiskindlust; Booron nitriidipaatiaurutamine teemandi eelkäija, lennunduslaagrites kasutatava DLC -kile ettevalmistamine.

Kõrge temperatuuriga sulamistravi: Al, Y ja muude elementide aurustumine molübdeenipaadi abil vaakum-ahjus, moodustades aeromootori labade antioksüdantseid katteid (näiteks alumiiniumoksiidi kate).

Shengyang New Material Co., Ltd. on pühendunud boori nitriidi ja booron -nitriidi töödeldud toodete tootmisele ning saab kohandada erinevaid boori nitriidide isoleerivaid keraamilisi osi vastavalt kliendi vajadustele. Vajadusel võtke meiega ühendust.
Tel: +8618560961205
E -post: sales@zbsyxc.com