Boornitriidi keemiline aurufaasi süntees

1979. aastal kasutas Sokolowski edukalt pulseerivat plasmatehnoloogiat kuupmeetri boornitriidi (CBN) kilede valmistamiseks madalal temperatuuril ja madalal rõhul. Kasutatavad seadmed on lihtsad ja protsessi on lihtne realiseerida, nii et see on kiiresti välja töötatud. On tekkinud mitmesuguseid auru sadestamise meetodeid. Traditsiooniliselt viitab see peamiselt termilisele keemilisele aurude sadestumisele. Katseseade koosneb tavaliselt kuumuskindlast kvartstorust ja kütteseadmest. Aluspinda saab soojendada küttekoldega (kuumseinaga CVD) või kõrgsagedusliku induktsioonküttega (külmseinaga CVD). Reaktsioonigaas laguneb kõrge temperatuuriga substraadi pinnal ja samal ajal toimub kile sadestamiseks keemiline reaktsioon. Reaktsioonigaas on BCl segatud gaas₃ või B₂H₄ja NH₃.