Boornitriidi ioonkiire pihustitehnoloogia

May 08, 2021

Kasutades osakeste tala pihustamist sadestamise tehnoloogiat, saadakse kuupmeetri boornitriidi ja kuusnurkse boornitriidi seguprodukt. Kuigi sellel meetodil on vähem lisandeid, on reaktsioonitingimusi keeruline kontrollida, mistõttu toote morfoloogiat on raske kontrollida ja selle meetodi uuringutel on suur arengupotentsiaal.