Boornitriidi aurustuspaadid vs. Volframpaadid
Nov 20, 2023
Boornitriidi aurustuspaadid vs. volframpaadid: erinevused ja eelised
Aurustuspaate kasutatakse laialdaselt õhukeste kilede ja kattekihtide tootmiseks paljudes tööstusharudes, nagu elektroonika, optika ja autotööstus. Erinevate aurustuspaatides kasutatavate materjalide hulgas on kaks populaarset valikut boornitriid (BN) ja volfram (W). Siin on BN aurustuspaatide erinevused ja eelised võrreldes traditsiooniliste W paatidega.
Esiteks on BN-l palju suurem soojusjuhtivus kui W-l. See tähendab, et BN-i aurustuspaadid suudavad sadestamise protsessi käigus substraadile üle kanda rohkem soojust, mis toob kaasa kiirema ja ühtlasema sadestuskiiruse. Lisaks on BN keemiliselt inertne materjal, mis tähendab, et see ei reageeri aurustatavate materjalide ega vaakumkambris kasutatavate gaasidega. See vähendab saastumise võimalust ning parandab õhukeste kilede stabiilsust ja konsistentsi.
Lisaks on BN aurustuspaatidel kõrgem sulamistemperatuur kui W. BN talub kuni 2800 kraadi temperatuuri, samal ajal kui W sulab umbes 3422 kraadi juures. See tähendab, et BN paate saab kasutada kõrgtemperatuurilisteks sadestamisprotsessideks, nagu reaktiivne pihustamine ja plasmaga täiustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD), ilma paadi rikke või deformatsiooni ohuta.
Teine BN aurustuspaatide eelis on nende madal aururõhk. See tähendab, et BN ei aurustu sadestusprotsessi ajal, vähendades tuuma moodustumise võimalust ja parandades õhukeste kilede kvaliteeti ja puhtust. Lisaks on BN mittetoksiline materjal, mis muudab selle vaakumkambris kasutamiseks ohutumaks.
Kokkuvõtlikult võib öelda, et BN aurustuspaatidel on W-paatide ees mitmeid eeliseid, sealhulgas kõrgem soojusjuhtivus, keemiline inertsus, kõrgem sulamistemperatuur, madal aururõhk ja mittetoksilisus. Need omadused muudavad BN paadid suurepäraseks valikuks suure jõudlusega õhukese kile sadestamise jaoks erinevates tööstuslikes rakendustes.
Shengyang New Material Co., Ltd. on pühendunud boornitriidi ja boornitriidiga töödeldud toodete tootmisele ning saab kohandada erinevaid boornitriidi isoleerivaid keraamilisi osi vastavalt kliendi vajadustele. Vajadusel võtke meiega ühendust.
Tel:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp:+8613964302243